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真空漏孔的校準步驟――比拟法

文章出處:大咖配资

真空漏孔的校準步驟――比拟法

比拟法校準真空漏孔時,要将從真空漏孔流出的氣體産生的效應與參考規範相比。为防止測量儀器的非線性和漂移帶来的誤差,參考規範應與真空漏孔的值盡可能瀕臨。

靜态比拟法

氣體微流量表靜态比拟法

如圖6所示,順次将真空漏孔流出的氣體QL和氣體微流量表流出的氣體Q,别離引人到一個真空室中,再经過限流孔被配资之家抽走,比拟它們在真空室中産生的靜态失調壓力輸入信号(别離为HL和Hs),而後用式(9)劃算出真空漏孔的漏率。

QL=(HL/Hs)Qs (9)

此步驟中,要害技能之一在乎氣體微流量表。表1是美國規範技能鑽研院(NIST)、德國物理技能鑽研院(PTB)和中國LIP的比拟法校準真空漏孔安裝的技能指标。

參考漏孔靜态比拟法

比拟被校真空漏孔和已知漏率为口,的參考漏孔在檢漏儀中的輸入信号HL和Hs,用式(10)劃算被校真空漏孔的漏率。

(10)

式中H0为檢漏儀的本底信号;as和aL别離为參考漏孔和被校漏孔的熱度系數;△Ts,和△TL别離为校正點參考漏孔和被校漏孔與參考熱度的偏差。那末Qs、和QL無比瀕臨,則此步驟中最大的誤差源来自Qs的量值,因而作为參考規範用的參考漏孔务必定期用氣體微流量規範或其餘高精度的相對式漏率規範繼續校準。这種步驟容易實用,許多漏孔校準試验室都用它對實用型參考漏孔(作为非傳.遞規範用的參考漏孔)繼續校準。

动态比拟法

定量氣體动态比拟法

從被校真空漏孔流出的氣體在體積V内積攢一段工夫後,會構成一個分壓力,用質譜計将此分壓力與規範分壓力繼續比拟,而後可失去真空漏孔的漏率。規範分壓力可用动态收縮法或從已知漏率的漏孔流出氣體累積而失去。

美國SNL用动态收縮法失掉規範分壓力,如圖7所示。在小容器V.内充入壓力为Pt的校準氣體(深淺为C)收縮到大容器V中作为規範壓力。曆次校正點,用小容器V.從大容器V中取樣,而後动态收縮到Vm中,由質譜計測量其分壓力信号Hs;再将被校參考漏孔通過工夫△t後在體積V.x。二中累積的氣體动态收縮到Vm中,由質譜計測量其分壓力信号Hx。最初用下式劃算被校參考漏孔的漏率QL

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